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Radiometrie für die EUV-Lithographie

Frank Scholze, Christian Laubis, Annett Barboutis, Christian Buchholz, Andreas Fischer, Jana Puls & Christian Stadelhoff
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4, Seite 3 - 7. ISSN 0030-834X

Zündwirksamkeit von Ultraschall beim Einsatz in explosionsfähigen Dampf- und Gas-Luft Atmosphären

Lars Hendrik Simon, Volker Wilkens & Michael Beyer
Ultraschall ist nach EN 1127-1:2011 und den Technischen Regeln für Betriebssicherheit (TRBS) 2152 Teil 3 eine von 13 Zündquellenarten. Für den Einsatz in explosionsfähigen Atmosphären ist derzeit ein Grenzwert von 1 mW/mm² festgelegt. Allerdings basiert dieser Grenzwert auf theoretischen Betrachtungen in Analogie zu anderen Zündquellen, zu denen keine aussagekräftigen experimentellen Grundlagen, Veröffentlichungen oder Aufzeichnungen existieren. In Anbetracht neuer Einsatzmöglichkeiten von Ultraschall in der Industrie war es nötig, den bestehenden Grenzwert durch experimentelle und theoretische Untersuchungen...

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