Dreidimensionaler thermoelektrischer Infrarot-Strahlungssensor mit Atomlagenabscheidung prozessiert und darauf angepassten Charakterisierungsmethoden

Erik Verheyen
Strahlungssensoren auf Basis von thermoelektrischen Materialien könnten die nächste Innovationsstufe für integrierte Infrarot-Strahlungssensoren darstellen. Im Vergleich zu aktuellen Widerstandsbolometern haben sie Eigenschaften, die sie für die Entwicklung von energieeffizienten integrierten Sensoren ohne zusätzlichen Temperaturabgleich interessant machen, wie zum Beispiel die Gleichlichtempfindlichkeit. Ein großer Nachteil ist die zur Zeit machbare Sensorgröße bzw. die Sensorgeometrie von Thermosäulen, die große Pixelarrays wie bei Stegbolometern unmöglich erscheinen lässt. Durch geschickte Prozessführung können zwar zweidimensionale Arrays hergestellt werden, diese sind...
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