Silizium Oberwellenmischer für den Mikrowellenbereich

Weiwei Zhao
Bestandteil der vorliegenden Arbeit ist die Untersuchung der Aluminium-Metallisierung für die koplanare SIMMWIC-Technologie (SIMMWIC, Silicon based Monolithic MicroWave Integrated Circuits) und die Realisierung der Mikrowellenkomponente, des 38GHz Oberwellenmischers. Durch die tiefgehende Untersuchung der Verlustmechanismen der Aluminium-Koplanarleitung (CPW, CoPlanar Waveguide) wurde der Verlustanteil von Interface-Ladungsträgern (Interface Losses) in einer CPW festgestellt. Dieser Anteil ist von der Bias-Spannung abhängig und kann durch eine angelegte Spannung in einem grossen Bereich variieren. Die Al-CPW bildet mit der Isolationsschicht (SiO2)...
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