Simulation von Lichtbeugung an Kreuzgitter-Strukturen und deren Anwendung in der Scatterometrie

Thomas Schuster
Diese Arbeit behandelt sowohl die Simulation von Lichtbeugung an Kreuzgitterstrukturen als auch deren Anwendung in der Scatterometrie, einer Messtechnik für die Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung. Kreuzgitterstrukturen weisen eine Periodizität entlang von zwei Koordinatenachsen auf. Bei der Verwendung von bekannten Fourier-basierten Methoden erhöht sich hierdurch die Komplexität von numerischen Beugungssimulationen auf O(M^6) im Vergleich zu Gittern mit nur einer Richtung der periodischen Fortsetzung, bei denen sich lediglich ein Wert von O(M^3) ergibt. Hierbei ist M die...
This data repository is not currently reporting usage information. For information on how your repository can submit usage information, please see our documentation.