Doppelheterodyn-Interferometrie für hochgenaue Vermessung im Nahbereich

Edgar Fischer, Ernst Dalhoff, Thomas Ittner, Zoran Sodnik & Hans J. Tiziani
In diesem Aufsatz wurde ein Meßsystem vorgestellt, welches sich aus der Kombination der Zweiwellenlängen-Interferometrie mit dem intensitätsunabhängigen Heterodyn-Verfahren zusammensetzt. Die resultierende Doppelheterodyn-Interferometrie vereinigt die Vorteile der beiden Verfahren. Ein großer Eindeutigkeitsbereich entsprechend der effektiven Wellenlänge A entsteht, darüberhinaus sind optisch rauhe Oberflächen als Meßobjekte zulässig; reduzierte Empfindlichkeit gegenüber Vibrationen und Umwelteinflüssen, hohe Auflösung infolge elektronischer Phasenbestimmung sowie hochgenaue Abstandsmessung in Echtzeit sind weitere Vorteile. Das Doppelheterodyn-Interferometer wird in Zukunft zu einem effektiven und dynamischen Meßinstrument...
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