Optical methods for surface measurements : state of the art

Hans J. Tiziani
Die Einsatzgebiete der optischen Meßtechnik haben sich durch die Einführung entsprechender Bildverarbeitung ausgeweitet. Neben der Triangulation und den Moire-Verfahren bieten sich interferometrische Verfahren für die hochgenaue Messung an; ein großes Potential, das noch nicht voll ausgenutzt wird. Ansätze zur Reduzierung der Störanfälligkeit, aber auch der Auflösung werden diskutiert.
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