Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten

Florian Kauffmann
Durch die Zugabe von wenigen Atomprozent Silicium zu Titannitrid können extreme Veränderungen der mechanischen Eigenschaften erzielt werden. Zum Beispiel nimmt die Härte einer TiN-Schicht um circa den Faktor zwei zu, wenn nur 2 at% Silicium zu einer TiN-Schicht hinzugefügt werden. Diese TiSiN-Schichten stellen eine interessante Beschichtung in der Verschleißschutztechnik dar, da diese hohe Härte mit Eigenschaften wie hoher Bruchzähigkeit kombiniert werden kann. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Frage, wie sich die Siliciumkonzentration in...
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