Получение, свойства и области применения функциональных тонкопленочных оксидных покрытий

Евгений Богданов
Исследован процесс получения функциональных тонкопленочных оксидных покрытий и областей их применения в качестве многослойных диэлектрических зеркал, а также для избирательной сорбции высокомолекулярных соединений. Экспериментально установлены закономерности изменения структуры и свойств металлических покрытий при варьировании технологических параметров вакуумного роста и режимов термической обработки. Изучены зависимости технологических параметров, влияющих на оптические и структурные свойства многослойных диэлектрических покрытий.
This data repository is not currently reporting usage information. For information on how your repository can submit usage information, please see our documentation.