In-situ RHEED-Untersuchungen des PLD-Wachstums von oxidischen Multilagen für die Entwicklung von Bauelementen

Alexander Hirsch
Komplexe oxidische Materialien lassen sich aufgrund interessanter Eigenschaften als elektrische Sensoren, Aktoren und in Bauelementen nutzen. Voraussetzung für die technische Nutzung der Eigenschaften ist das kontrollierte Wachstum qualitativ hochwertiger dünner Schichten. Die Kombination der Wachstumsmethode der gepulsten Laserdeposition (PLD) mit der in-situ Charakterisierungstechnik des reflection high energy electron diffraction (RHEED) ermöglicht die Anwendung innovativer Konzepte zur Herstellung von oxidischen Schichten hoher Qualität in einem zweidimensionalen Wachstumsmodus. Im Rahmen dieser Arbeit wird das Wachstum von halbleitendem...
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