Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на электропроводящие материалы

, &
Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на электропроводящие материалы, включающий осаждение кремний-углеродной пленки из органического кремний и углеродсодержащего прекурсора электрохимическим методом, отличающийся тем, что кремний-углеродную пленку формируют электроосаждением из прекурсора, состоящего из гексаметилдисилазана в метиловом или этиловом спирте, на электропроводящую подложку, расположенную на катоде, на который относительно анода подают напряжение до 600 В с плотностью тока до 70 мА/см2, а расстояние между катодом и анодом устанавливают до 1 см.
Изобретение относится к области гальванотехники и может быть...
This data repository is not currently reporting usage information. For information on how your repository can submit usage information, please see our documentation.