Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на диэлектрические подложки

, &
Способ электрохимического осаждения кремний-углеродных пленок на диэлектрические подложки, включающий электрохимическое осаждение кремний-углеродных пленок из органического кремний- и углеродсодержащего электролита, состоящего из гексаметилдисилазана в метиловом или этиловом спирте, на подложку, расположенную на катоде, на который относительно анода подают напряжение до 600 В с плотностью тока до 70 мА/см2, при этом устанавливают расстояние между катодом и анодом до 1 см и получают кремний-углеродную пленку, имеющую фазу карбида кремния SiС, отличающийся тем, что на диэлектрической подложке из слоя...
This data repository is not currently reporting usage information. For information on how your repository can submit usage information, please see our documentation.