Modelling the nanosecond laser ablation of a silicon target

Germano Galasso
Der Laser ist zweifellos eine der außergewöhnlichsten Erfindungen des letzten Jahrhunderts. Dank der einzigartigen Eigenschaften des Laserlichts, wie Kohärenz, Monochromie und Kollimation, hat diese Energiequelle unzählige Anwendungen in verschiedensten Bereichen gefunden. In der Halbleiterindustrie sind Laser ideale Werkzeuge, um die immer kleineren Bauteile herzustellen, die heutzutage in der mikroelektronischen Industrie entwickelt und kommerzialisiert werden. Insbesondere wird sich Laserlicht höchstwahrscheinlich als Referenztechnologie etablieren, um den Dicingprozess- das Zersägen - von ultradünnen Siliziumwafern mittels Materialablation durchzuführen. Beim...
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