Einfluss der Geometrie von Elektroden und Sensorschichten auf das Schwingungsverhalten von Langasit-Resonatoren

S. Schmidtchen, H. Xia & H. Fritze
Auf dem hochtemperaturstabilen piezoelektrischen Material Langasit basierende Resonatoren können als Gassensoren genutzt werden, indem die Auswirkung von Änderungen der elektrischen und mechanischen Eigenschaften einer aufgebrachten Sensorschicht auf das Schwingungsverhalten detektiert werden. Als Messgröße wird hierbei nicht nur die massebedingte Resonanzfrequenzverschiebung sondern auch die Veränderung des Schwingungsprofils durch Änderung des effektiven Elektrodendurchmessers genutzt. Um die letztgenannte Größe zu variieren, werden Metalloxidschichten auf den Resonator aufgebracht, deren Leitfähigkeit sich mit sinkendem Sauerstoffpartialdruck erhöht. Die Untersuchung der leitfähigkeitsinduzierten...