Untersuchung der Schichtdickenänderung dicker Polymerschichten geeignet für kapazitive Gassensoren

U. Altenberend, A. Oprea, N. Barsan & U. Weimar
Polymerschichten von mehreren μm Schichtdicke, geeignet für kapazitive Gasdetektion, wurden auf reflektierenden Silizium-Substraten hergestellt und untersucht. Der Einfluss der Gassorption auf die Dicke der Polymerschicht, die neben der Änderung der Dielektrizitätskonstante, auch zum kapazitiven sensorischen Effekt beiträgt, wurde mittels einer neuen optischen Methode (optisches Profilometer auf Basis von chromatischer Aberration) festgestellt und quantifiziert. Anhand der erhaltenen Ergebnisse wurde eine Flory-Huggins-Sorptionsisotherme bestimmt und der Flory-Huggins-Wechselwirkungsparameter ausgewertet. Die Methode erlaubt den Analytgehalt durch Änderung der Schicktdicke zu...