Mikrooptischer Sensor für die Volumenstrommessung in Kapillaren

R. Müller & A. Steinke
In elektrochemischen Anlagen für die Erzeugung von metallisierten Mikrostrukturen ist es wichtig, den konvektiven Stoffaustausch in diesen Mikrostrukturen (z. B. Bohrungen) zu kennen. In dieser Arbeit wird ein erstes Funktionsmuster eines „faserfreien“ integriert optischen Durchflussmesser auf Basis der Ortsfiltertechnik, der bei frei angeströmten Mikrostrukturen in prozesstechnischen Anlagen eingesetzt werden kann, vorgestellt. Grundlage für die Funktion ist das Vorhandensein von Tracerpartikeln. Es werden u. a. ein (Vertical Cavity Surface Emitting Laser {VCSEL}), eine 2 mm lange...