Potentiometrischer CO2-Sensor in Dickschichttechnologie zur Atemgasanalyse

S. Wiegärtner, G. Hagen, J. Kita, M. Seufert, E. Glaser, K. Grimmel, C. Schmaus, A. Kießig, A. Bolz & R. Moos
In diesem Beitrag wird ein elektrochemischer Sensor des Typs CO2, O2, Au, Li2CO3-BaCO3 | Nasicon | Na2Ti6O13-TiO2, Au, O2, CO2, der in kostengünstiger Dickschichttechnik reproduzierbar hergestellt wird, beschrieben. Eine Miniaturisierung des Sensors und die Integration eines Heizelements auf der Rückseite des Sensors erlaubt es, diesen eigenständig bei der benötigten Betriebstemperatur von 525 °C zu betreiben. Dabei hängt das Messsignals vom CO2-Partialdruck der zu messenden Umgebung ab und gehorcht der Nernst-Gleichung. Der Sensor kann zur Atemgasanalyse...