Mikro-Nano-Integration in der Sensorik - Nanostrukturen als neue Option

M. Hoffmann, H. Bartsch, M. Fischer, S. Hampl, C. Kremin, S. Leopold, J. Müller, T. Polster & M. Stubenrauch
Für die Sensorik eröffnet der Einsatz von nanostrukturierten Materialien, die mit begrenztem Aufwand umsetzbar sind und für die keine kostspieligen und sehr aufwendigen Technologien benötigt werden, neue Perspektiven. Die Mikro-Nano-Integration, also die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme, ist zumindest ein höchst interessantes Thema für zukünftige Sensoren. Vorgestellt werden hier beispielhaft nanostrukturiertes Siliciumgras, das durch Selbstmaskierung in Trockenätzprozessen erzeugt werden kann, und nanokristallines Aluminiumnitrid, das mittels reaktiver Sputtertechnik erzeugt wird. Während Siliciumgras insbesondere für extrem große...