2.2 - Mikroskop-basierter interferometrischer Zeilensensor zum schnellen Scannen optischer Funktionsflächen

P. Kühnhold, H. Knell, P. Lehmann, S. Laubach & G. Ehret
Die Form optischer Funktionsflächen, z. B. asphärischer Linsen, mit der erforderlichen Genauigkeit zu messen stellt die moderne Messtechnik vor große Herausforderungen. Die Hauptaufgabe dabei besteht darin, große Flexibilität, hohe Messgenauigkeit und hohe Messgeschwindigkeiten mit vertretbaren Gerätekosten zu vereinen. In diesem Beitrag soll ein neues Messsystem vorgestellt werden, welches in der Lage ist, mit hoher Datenrate, kontaktlos und mit interferometrischer Genauigkeit die Formabweichung optischer Funktionsflächen zu erfassen. Verwendet wird dazu ein Michelson-Interferometermodul, welches mit einem Mikroskop...
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