P3 - Netzwerktheorie für mikro-akustische Systeme am Beispiel eines neuartigen überlastfesten Differenzdrucksensors

L. Tang, T. Kober & R. Werthschützky
Am Institut für Elektromechanische Konstruktionen wurde ein neuartiger überlastfester Differenzdrucksensor entwickelt [1]. Der Nennmessbereich des Messelements beträgt Δp = 10 mbar bei einem Überlastdruck von pstat = 160 bar. Das Messelement weist eine Silizium-Messplatte und zwei strukturierte Gegenlager aus Glas auf (Bild 1). Bei Überschreiten des Nenndrucks legt sich die Messplatte an das Gegenlager an und der statische Überlastfall wird gesichert. Durch Anwendung der Netzwerktheorie mit verteilten Parametern werden die dynamischen Eigenschaften des Messelements untersucht.
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